스퍼터 Qna 관련 답변 1 페이지

저거 웨이퍼를 4등분해서 오른쪽 위부터 1번 시계방향으로 4번까지고 한조각당 3포인트씩 알파스탭 찍었습니다 결과해석이랑 그래프가 뜻하는것 해석해주실수있나요 내공...

스퍼터 증착장비에서 산화물 타겟으로 박막을 증착하려고 하는데 RF 플라즈마가 뜨질 않네요 원래 잘 뜨다가 어느날 갑자기 뜨지 않는데 Ar 분압도 높여 보고 건...

출처-위키백과 스퍼터링 장비가 대부분 이렇게 생겼는데 스퍼터링을 하기 위해선 고진공상태가 돼야하는걸로 알고있습니다. 그래서 저진공펌프, 고진공 펌프를 써야하는데 1....

... 하얀색인데 스퍼터링 공정을 하고 나면 파우더의 색깔이 검정색입니다. 왜 그런지... 3.인터넷으로 찾아본 결과 보통 스퍼터링을 하게 되면 아르곤 플라즈마의 색깔이...

투명DLC 코팅 방법에 대해서 알고 싶습니다.