스퍼터링 장비에 관해 질문이 있습니다.
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출처-위키백과
스퍼터링 장비가 대부분 이렇게 생겼는데
스퍼터링을 하기 위해선 고진공상태가 돼야하는걸로 알고있습니다.
그래서 저진공펌프, 고진공 펌프를 써야하는데
1.저 사진에서 진공펌프가 어느부분인지가 궁금합니다
아니면 따로 연결해야하는건가요??
2. 어떤 종류의 펌프를 주로 사용하는지 궁금합니다.
3. 각 부분별 역할이 궁금합니다.
![](https://img-api.cboard.net/img_n.php?image_url=https://kin-phinf.pstatic.net/20180601_89/1527815445875rRNQF_JPEG/1200px-Sputtering_system.jpg)