알파스텝 측정결과 해석해주실수있나요 내공 많이겁니다

알파스텝 측정결과 해석해주실수있나요 내공 많이겁니다

작성일 2023.06.13댓글 1건
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저거 웨이퍼를 4등분해서 오른쪽 위부터 1번 시계방향으로 4번까지고 한조각당 3포인트씩 알파스탭 찍었습니다

결과해석이랑 그래프가 뜻하는것 해석해주실수있나요 내공 있는거 다걸겠습니다





































profile_image 익명 작성일 -

모든 시편 및 측정 결과가 비슷한 결과를 보여주고 있네요.

뭔가 증착하였거나 구조체를 올렸다면, 약 700~800 nm 정도의 두께인 것 같습니다.

왜냐면 알파스텝에서의 편차가 그만큼 보이고 있습니다.

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