전자빔과 이온빔 스퍼터의 차이점을 알려주세요. 전자총,이온총, 차이인거 같은데 정확이 잘 모르겠네요. 두 기기의 작동 방식의 차이나 구동방식의 차이, 기기 구성의 차이...
진공에 가까워질수록 MFP가 길어지는데, MFP가 어느정도 이상 길어지면 MFP가 길어짐에 따라 증착효율이 똑같이 증가하나요? 아니면 어느정도 이상의 MFP부터는 비슷하나요?...
증착 공정에 사용되는 세라믹 계열 sputtering target 가공이 가능한 업체를 찾고 있습니다 dia size 및 두께 가공이 가능한 업체가 있을까요? 답변 남겨주시면...
Wafer에 Deposition하기 위해 -극에 target, +극에 Wafer를 연결한 상태라고 가정하겠습니다. +극과 -극에 전원이 연결된 챔버 내부에 있는 전자가 전기장의 영향을 받아서...
태그: 반도체, 증착공정, deposition, 플라즈마, 문제풀이
화학적 증착공정 cvd방식에서 c가 chemical이라고 하는데 이게 혹시 에칭가스라고 하는 불화수소 말하는거 맞나요??
반도체 공정중 증착파트공부중에 궁금한게 생겨서 질문드립니다. 박막의 종류중 SiO2나 Si3N4같은 절연체들은 비정질구조라고 되어있는데 제가 알기로 반도체재료는...
PVD (physical Vapor Deposition) 비증착...문의 일부표면 증착이 아닌 비증착을 원하는데 어떤방법이 좋을까요? 예를 들어 물리적인 마스킹을 한다(?) 일부구역에...
... 수량은 테스트용으로 먼저 1장씩 진행하고 추후에 결과값에 따라 수량을 늘릴 예정입니다 추가적으로 같은 기판에 MoS2 증착 공정이 가능한 업체도 찾고 있습니다...
작은 반도체 회사에 다니는 회사원입니다 얼마전 회사에 Issue가 생겨서 도저히 해답이 나오지않아 질문드립니다 Metal장비가 5대 정도인데 얼마전부터 증착 후에 웨이퍼...