MOSFET 구조에서 Gate가 channel을 감싸는 이유

MOSFET 구조에서 Gate가 channel을 감싸는 이유

작성일 2021.11.21댓글 1건
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안녕하세요
반도체를 공부 중인 학생입니다.

MOSFET의 발전 방향이 planar에서 Fin GAA로 발전하면서
Gate가 점점 channel을 감싸는 형식으로 변해 3면, 4면 모두 감싸게 되었는데
이렇게 gate가 channel과 닿는 면적이 많아졌을 때의 이점이 무엇인지 궁금합니다.



profile_image 익명 작성일 -

누설전류가 줄어듭니다.

현재 channel길이가 1um이하로 내려가면서 부터 short channel effect가 심화되고 그로인한 누설전류가 계속 증가하는것이 매우 큰 문제였습니다.

물을 뿜는 호스로 생각한다면 기존의 gate는 위에서 누르는 것으로 물의 세기를 조절했다면 finfat이나 gaa구조같은 3차원 구조는 3면, 4면에서 눌러 물줄기를 더욱 쉽게 억제할 수 있다고 생각하시면 됩니다.

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