스퍼터링에서 Al metal target vs. Al&Zn alloy target의 장단점은...

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스퍼터링에서 Al metal target vs. Al&Zn alloy target의 장단점은...

작성일 2010.07.06댓글 1건
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스퍼터링에서 al&zn 합금 타겟으로 azo필름을 만드는데

 

코스퍼터링법인 al과 zn타겟을따로 써서 하기도 하는데요

 

이 두가지 방법에서 각각의 장단점이 있을것으로 사료되는데

 

어떤점들이있나요? 내공 많이 겁니다~



profile_image 익명 작성일 -

일단 같은 조건을 사용해서 AZO film을 증착한다고 해도

장비마다 결과는 다를수 밖에 없고요


Al과 ZnO을 co sputtering 하는 경우

Al과 ZnO의 조성 비율을 조건에 따라서 다양하게 변화시키면서 최적의 조건을 찾을수 있겠네요

하지만 power나 sample-target distnace, temperature 등 변화 요인들이 많아 일이 많아질거 같구요.


논문들 찾아보면 Al2O3 2wt% 타겟을 보통 많이들 사용하는걸로 아는데요

역시 타겟이 하나지만 기본적인 power, temperature, pressure, gas 등등

비저항값이 낮으면서 높은 투과도를 갖는 film 조건을 얻기 위해서 조건별 실험은 필수구요.


타겟도 중요하겠지만 여러가지 실험 조건들을 최적화시키는것도 물론 중요한 과정이구요.



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