반도체 관련 화학책 추천이요

반도체 제조와 관련된 화학적 개념과 방법을 다루는 책을 찾고 계시군요. 여기 몇 가지 추천 도서를 소개해 드립니다. 이 책들은 반도체 제조 공정에서의 화학적 방법과 원리를 이해하는 데 도움이 될 것입니다.

1. "반도체 공정과 장비" (저자: 이상학) - 이 책은 반도체 제조 공정 전반에 대한 개념을 소개하고 있으며, 화학 증착, 식각 등의 화학적 방법뿐만 아니라 물리적 방법에 대해서도 설명하고 있습니다. 반도체 공정에 대한 전반적인 이해를 돕는 책입니다.

2. "반도체 소자공학" (저자: Ben G. Streetman, Sanjay Banerjee) - 반도체 소자의 기본 원리와 제작 공정에 대해 상세하게 다루고 있으며, 반도체 소재의 화학적 특성과 소자 제작 시 활용되는 화학적 방법들에 대해서도 설명합니다. 이 책은 전문적인 지식을 필요로 하는 독자에게 적합합니다.

3. "실리콘 반도체 기술" (저자: Stephen E. Wolf, Richard N. Tauber) - 실리콘 기반 반도체 기술에 중점을 둔 이 책은 실리콘 웨이퍼 제조에서부터 반도체 소자 제작까지의 공정을 다루고 있습니다. 화학 증착법, 식각 기술 등의 화학적 방법에 대한 상세한 설명이 포함되어 있습니다.

4. "나노기술과 반도체 공정" (저자: Michael A. Fury, Daniel J. Gaspar) - 나노기술을 반도체 제조에 적용하는 최신 방법들을 다루는 이 책은, 화학 기상 증착(CVD), 원자층 증착(ALD) 등의 화학적 방법을 포함한 나노스케일의 제조 기술에 대해 설명하고 있습니다.

5. "반도체 공정: 화학적 기초" (저자: Hiroaki Ohta) - 반도체 공정에서 사용되는 화학적 방법에 초점을 맞춘 이 책은 반도체 제조 공정의 각 단계에서 활용되는 화학적 원리와 방법에 대해 설명합니다.

이 책들은 온라인 서점이나 대학교 도서관에서 찾아볼 수 있습니다. 반도체 제조 공정에 대한 화학적 이해를 심화시키고 싶은 분께 유용한 자료가 될 것입니다.