해상력

두 점 사이 또는 등간격의 흑백의 선에서 분별할 수 있는 최소간격을 길이로 나타낸 값. 해상력은 광학계를 구성하는 각 렌즈의 수차(收差, 원래는 한 점에 모아야 되는 광이나 전자선이 여러 가지 요인으로 원판상에 펼쳐있는 것) 등으로 결정된다. 해상력을 δ라 하면 피검체 쪽의 2선간 해상력은 δ＝λ/2NA에서 구할 수 있다. λ는 사용파장, NA는 의 이다. 이 식에서 의 해상력은 배율에 관계없이 파장이 짧을수록 작고, 개구수가 클수록 작은 것을 알 수 있다.

예컨대, 전자선은 광보다도 파장이 압도적으로 짧고, 파동이 그림자부분에 감아들어감으로써 생기는 회절수차의 영향이 작기 때문에 은 광학현미경에 비교하여 해상력이 뛰어나다. 광학현미경으로서 최고급인 플랜아포크로마트대물렌즈의 유침(油浸) 100×렌즈 NA＝1.35를 사용한 경우, λ＝546nm(초록, 가시광 중심파장)로서 2선간의 해상력은 0.2μm가 한계이다.