X선분광기

요약 x선의 에너지 스펙트럼을 조사하는 장비로 광원, 분광계, 검출장치로 이루어졌다. 에너지 분석방법에 따라서 파고분석법, 단결정법, 회절격자법의 세 종류로 나눌 수 있다.

X선 분광광도계(光度計) 또는 X선 분광계(分光計)라고도 하며, X선 분광분석에 이용한다. X선 과 분광계 및 검출장치의 3부분으로 이루어졌다. X선 광원으로는 주로 관을 사용한다. 분광기로서는 적당한 회절을 사용하며 결정면을 기울이고 알맞은 회절각을 주어 을 선택한다. 검출장치로서는 γ선의 검출과 마찬가지로 가이거-뮐러 등을 사용한다. X선분광기의 측정 파장 범위는 대체로 0.01∼10nm(나노미터)이다. 분석 방법에 따라서 크게 분석법·법·회절격자법 등으로 나눌 수 있다.

① 파고분석법 : 입사하는 X선 에너지에 따라 검출기(비례계수관·계수관 등)의 출력전압이 다른 것을 이용하여 을 조사하는 방법이다. 능 Δλ/λ(分解能, λ는 파장, Δλ는 파장의 변화)은 0.1 정도이다.

② 단결정법 : 면 간격이 d인 면을 이용해 브래그조건(2dsinθ=nλ)으로부터 λ를 알 수 있다. 은 약 0.001로 매우 좋다. 1개의 평판 단결정을 이용한 외에 결정투과법·만곡결정법·복결정법(2개 또는 3개의 단결정을 이용한 것) 등이 있다. 이것에 따른 분광기의 구동기구도 여러 가지이다. 단결정법에서는 플루오린화리튬(LiF), (NaCl), , , , KDP, 등을 사용한다.

③ 회절격자법 : 주로 수nm 이상의 파장에 이용한다. 회절격자로는 적 선 모양 격자를 주로 많이 이용하며, 등 긴 사슬분자의 단분자막을 사용하기도 한다. 어느 방법에서나 파장이 수분의 1nm 이상일 때는 흡수에 의한 의 감소를 막기 위해 장치를 으로 한다.