반도체산업
[ semiconductor industry , 半導體産業 ]
- 요약
반도체 재료 및 반도체 전자회로소자의 제조·제작과 이들의 응용을 생산의 목적으로 하는 산업이며 넓게는 반도체소자 응용기기의 제작 및 이와 관련된 산업을 포함한다. 전자산업의 근간을 이루고 있다.
반도체산업의 기본 소재가 되는 반도체의 개발은 일찍이 1839년 M. 패러데이의 황화은(黃化銀) 실험에서 비롯되지만, 오늘날 반도체산업의 중심이 되고 있는 원소반도체의 재료인 규소의 공업적 이용이 시작된 것은 1939년경부터이다. 또 현대식 반도체산업의 시작은 1948년 저마늄으로 된 점접촉형(點接觸型) 트랜지스터가 W. 쇼클리에 의해서 발명되고, 1951년 합금형 접합 트랜지스터가 미국에서 실용화되는 등 반도체소자 개발이 급진전을 이룬 데서부터 시작되었다. 이때부터 전기통신기술의 일부 기초로서 발전해 온 전자기술이 반도체산업을 중심으로 하여 모든 산업으로 확산·응용되어 일상생활과 직결되기에 이르렀으며, 사회환경을 변혁시키는 단계까지 이르고 있다.
반도체산업의 중심인 반도체소자의 제작은 초고순도(불순물율 약 10-10)의 균일한 단결정을 얻고, 그 속으로의 불순물 첨가를 확산 등의 방법으로 마음대로 제어할 수 있는 기술, 섬세한 도형을 작은 반도체 박판(薄板) 표면에 사진식각(寫眞蝕刻)시키는 기술 등 정밀한 생산기술과 시설 등의 뒷받침을 필요로 한다. 또 이들 공정에서 사용되는 용수(用水)와 자재(資材)도 매우 순도가 높아야 하며, 공정과 작업환경도 극도로 정밀하게 제어 조절되어야 한다. 반도체소자 제작공정에서 쓰이는 물질의 순도는 특히 전자급(electronic grade)이라 하여 구별한다.