박막을 형성시켰는데, 압력이(working pressure) 커지면, 4.point prove 측정했을때 , 압력이 커질수록 면저항은 더 커지나요? 작아지나요? 뭘 증착 했는지 모르겠지만...
박리가 양파 껍질처럼 벗겨지는것으로 알고 있는데, 박리를 예방하려면 마지막 언 로드락 챔버에 질소를 투입하면 예방이 될까영? 질소를 투입하면 증착된 박막 글라스에...
태그: sputter
Photo공정 채용을 보고 있는데, 제 경력이 Sputter 공정 셋업업무를 했습니다. Sputter→블랭크마스크→Photo공정 순으로 가는 글을 얼핏 보았는데, 관련이 있을까영? 포토 공정과...
... 제 경력에 Sputter 장비 공정셋업을 했는데, Photo공정 진행하면서 Sputter 직무도 포함인가영?? photo... sputter 는 cvd 나 deposition 쪽으로 공정이나 사용...
블랭크마스크 제조하는 기업에 입사지원서 넣어서 공부도 할 겸 포토공정 관해 보던 중 1. 포토 공정 안에 노광 공정이 포함됩니다. 포토 공정에는, - 감광액 도포 : 웨이퍼에...
그림에서와 같이 반도체 이온 임플란팅 공정 이후 P, As, Sb, B 불순물들이 같은 에너지의 공정에도 불구하고 Depth차이가 나는 이유가 무엇일까요?
안녕하세요 rf magnetron sputter를 이용하여 Zn(아연)를 증착하려는데 Zn만 플라즈마가 안떠서 증착을 못하고 있습니다. 진공도 5.0E-3 에서 100W로 하는데 Ag, Ta, A...
1. 벨브1을 잠그고 벨브2를 열면 아르곤가스가 더 이상 챔버로 유입되지 않아 챔버내에 압력이 일정해야 하는데 챔버내에 압력이 올라갑니다. 물론 일시적으로 벨브1과 벨브2...
태그: 반도체, 스퍼터링, 스퍼터, sputtering, sputter, PVD, 플라즈마, 아르곤, 공정, 웨이퍼
섬광체에 알루미늄 증착을 하고 싶습니다. 가능하신 업체나 연구팀이 있으시면 댓글달아주세요. 사진과 스펙을 올립니다.
태그: 증착, sputtering, sputter, 알루미늄
안녕하세요 Sputter 장비 관련하여 공부하고 있는 대학원생입니다. Sputter 실험시 사용하는 Target에 대해서... Sputter 장비에서 쓰이는 Target이 소모 되었을때 이...
태그: DC, Sputter, Target, Sputtering