photoresist Qna 관련 답변 1 페이지
반도체 포토공정에서 PR 유통기한...
... (photoresist, PR, 감광액)를 도포한 후, 마스크 패턴을 올려놓고 UV 등의 빛을. 에서 보세요 에서 자세히 보세요 공장 문제해결사 [공지] 화공 화학 궁금증 해결...
태그: 반도체공정, 포토공정, photoresist, 감광제, 문제풀이
Photolithography 공정을
... 사용한 photoresist는 negative 입니다... 기본적으로 negative pr은 RLT에 장점이 있는걸로 알고있는데 충분한 현상뒤에도 RLT가 고려할수준으로...
태그: photolithography, photoresist, resolution, Criticaldimension, 반도체공정, 포토리소그래피, 포토레지스트