photolithography Qna 관련 답변 1 페이지

안녕하세요 반도체 공정 공부하고있는 공대학생입니다. 전공정중에 포토공정에서 scanner장비 사용할때 wafer랑 mask가 반대방향으로 이동하면서 현상하는데 그 이유가...

Photolithography 공정을 이용해 마이크로 스케일의 패턴을 제작하다가 critical dimension과 Residual Layer Thickness에 이슈가 발생했습니다... 사용한 photoresist는...

Photo lithography, 포토 리소그래피 이 어떤건지 사진과 함께 설명 부탁드립니다. 제 블로그에 포토리소그래피 공정 설명을 올려놨습니다. 참고하셔서 공부에...

RES 개선과 DOF 개선의 trade-off 관계 때문에 그 대안으로 매질을 바꿔주는 Immersion Lithography가 등장한 것으로 알고 있습니다. 제가 광학 쪽에 문외한이라 이 식이...

photo lithography 공정 실습 중에 wafer 위에 이물질을 제거 하기 위해 'air~'를 사용했는데 이름이 뭔지 모르겠어서요..! 분무기 모양처럼 생겨서 손잡이를 누르면...

... 이와는 다르게 Photolithography 공정에서 기본적으로 SiO2막위에 패턴처리된 photo resist가 있어 PR이 없는 부분에 가속된 이온으로 Ion milling 처리시에.. Sputtered...