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SiO2 생성량 질문
안녕하세요 SiH4(실란)와 O2(산소)의 반응에서 다음과 같은 반응식이 나오는데요, SiH4 + O2 -> SiO2 + 2H2 SiH4 + 2O2 -> SiO2 + 2H2O Q) 실란 1lpm , O2 100 lpm 주입 시...
안녕하세요 SiH4(실란)와 O2(산소)의 반응에서 다음과 같은 반응식이 나오는데요, SiH4 + O2 -> SiO2 + 2H2 SiH4 + 2O2 -> SiO2 + 2H2O Q) 실란 1lpm , O2 100 lpm 주입 시...