PECVD Qna 관련 답변 1 페이지

반도체 공정과 관련하여 PECVD 공정의 막 증착에 영향을... PECVD 공정의 막 증착에 영향을 미치는 요소들에 대해... 전극 거리 - PECVD 공정에서 전극은 막 증착 속도와 밀접한...

12인치 웨이퍼를 PECVD 로 증착 가능한 곳 있을까요? SiO2, SiN, SiON 등... 할 것 같네요. https://nnfc.re.kr/post/equipment?searchType=default&searchTxt=PECVD

CS 엔지니어 즉 Field엔지니어가 하는 일이 궁금합니다. 세분화적으로 말씀해주세요. 특히 도쿄일렉트론코리아에서 다루는 장비와 cs엔지니어가 이 장비를 가지고 뭘 하는지...

PECVD를 이용해 insulator 를 증착하는과정에서 궁금한 사항이 있습니다. 기존 SiO2 증착은 아니고 EDL 층을 구현하기 위한 과정입니다. SiH4 94% + PH3 6 %를 혼합한...

lcd, 즉 tft-lcd에 많은 공정중 굳이 pecvd공정을 하는 구체적인 이유가 궁금합니다!!

태그: lcd, pecvd

둘다 CVD 방식의 증착법이고, 플라즈마를 이용한 것은 공통점인데 굳이 PE 와 PA 로 나누어 놓은 것은 분명히 차이가 있기때문인데 개념정리를 하고 싶어도, 명확하게...

PECVD 공정을 하는 사람입니다. 요즘 STEP COVERAGE개선을 하고 싶은데 어떤 변수들이 영향을 미치는지 정확히 잘 모르겠습니다. 개선 하기 위하여 증착속도를...

... PECVD로 웨이퍼포면위에 sio2를 증착했을때 표면이 일정하지 않았는데 파티클이 없었다고 가정할시 표면이 불균일한 이유는뭘까요? 2. rf파워도 일정하다고했을때...

PECVD가 낮은 공정 온도를 갖고 있어 상대적으로 제품의 품질이 떨어진다고 하는데 공정 온도가 낮으면 왜 품질이 떨어지는건가요??

... PECVD공정에서 불순물인 파우더가 생기는 위치가 SIO2의 아래쪽인가요? SIO2안인가요?SIO2의 위쪽인가요? 그리고 파우더가 생기는 이유는 무엇인가요? 2. CVD공정으로...