반도체 CMP 공정 공부하는데 패턴이 고밀도하다, 저밀도하다, 넓다, 좁다 구분이 어려워 질문합니다. Dishing이 일어나는 부분은 패턴이 넓은 영역, Erosion이 일어나는...
http://orion-electric.co.jp/ 오리온전기 일본기업 망했나요?? 저희가 필요한 반도체부품이 해당 회사 제조라 알아보려했는데요. 검색해도 정보 얻기가 쉽지않네요.
제가 어떤소자를 제작 으뢰할려고하는데 국내에서 개인을대상으로 포토리소그래피 에칭 CMP 공정을 서비스하는 기관또는 기업을 찾을려고합니다
렌즈 가공할 때 주로 MP( Mechanical Polishing)이 주를 이루더라고요. 왜 CMP(Chemical Mechanical Polishing)로 하지 않는 건지 궁금합니다.