BCl3 Qna 관련 답변 1 페이지
반도체가스 BCL3 / WF6 Powder 발생이유
반도체회사에서 사용하는 TCP9600설비,P-5000 BCL3 / Novellus... BCL3 (붕화붕소)와 WF6 (텅스텐 헥사플루오라이드) 가스에서 Powder 발생하는 이유는 다음과 같습니다. 1. BCL3...
BCl3 Gas 배관 길이에 따른 특성 변화가...
안녕하세요 Gas 공급장치를 통해 BCl3 Gas를 공급받고 있는데 Gas 공급장치 ~ Gas... 이 경우 BCl3 Gas의 특성 변화나 품질의 변화가 나타날수 있는지 궁금합니다....
금속 식각 공정 Ti, Al 관련 Cl2, BCl3...
... Cl2, BCl3 Gas 를 사용하여 Plasma 반응을 하여 식각을 진행하는데 Cl2의 경우 금속과의 반응 Gas 이고 BCl3... 3Cl2 + BCl3 -> 2AlCl3 + BCl3 ??? 2) Ti + 2Cl2 +BCl3 -> TiCl4 +BCl3...
[반도체질문] BCL3 + N2O Gas 조합시 어떤...
반도체 설비에서 BCL3 + N2O gas 동시에 흘릴시에 어떤... 유도결합 BCl3/Ne 플라즈마 (PICP)를 이용하여 III-V 화합물... OES를 이용한 평판형 유도결합 BCl3/Ne 플라즈마 peak들의...
Cl2 Bcl3의 관계?
... 문의드립니다 Aluminum막질에 Cl2, Ar, Bcl3를 사용해서 Etching을 하는데 1. 각각... Cl2, Ar, Bcl3 3개 Gas 중 어떻게 반응해서 Corrosion불량이 발생하는지...