... 그러나 25 % 이하의 BCl3가 혼합된 플라즈마에서는 반응기내의 BCl3/Ne 중 BCl3 가스의 함유량 감소로 인한 화학적 식각 성분이 줄어들어 식각률이 감소하였다. BCl3/Ne...
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