박막측정 Qna 관련 답변 1 페이지
박막재료 문제! 내공500
1. 챔버내에 있는 수분이 존재하는 가운데 기상증착하면 필름의 품질이 저하될 수 있다. 이때 수분을 제거할 수 있는 효과적인 펌프의 예를 들고 특징을...
Ellipsometer, 4 point probe, particle...
Ellipsometer, 4 point probe, particle counter들의 동작원리가 뭔지 자세히 알려주세요. 교수님께서 시험 문제로 이걸 내신다고 하셨는데 인터넷을 찾아봐도 잘...
태그: 반도체측정장비, ellipsometer, 박막측정
PET필름 기판에 백금을 증착시켰는데...
PET필름이 너무 물러서 그런건지... 알파스텝으로 두께측정이 잘 안되네요.. 혹시 알파스텝이 측정 못하는 이유가 있을까요?? 그리고 PET필름에 입힌 박막의 두께를 측정...
필름 기판 위에 형성한 100nm 정도의...
코팅으로 유리기판 위에 100nm 이하의 박막을 형성 했습니다. 현재는 박막의 두께를 측정하기 위해 날카로운 물건(칼, 주사 바늘 등)으로 기판 위를 긁어내서 필름을...