면저항측정 Qna 관련 답변 1 페이지
면저항 구하기
면저항을 구하는데 단위가 옴(Ω)만 나올 수 있나요??? 1) 비저항이 9.8x10-8 (Ωcm) 이고 두께는 1um인데 이거 계산하면 답이 뭔가요??? 저는 계산하면 cm운 사라지고 옴(Ω)...
어느 공정에서 면저항 Rs측정을 하고 그...
제가 알기로 반도체 공정에서 CMP나 이온주입공정 금속박막 증착공정이나 ITO, 솔라셀 등에서 Rs측정을 하고 있다고 알고있습니다. 혹시 각 공정에서 언제언제 측정을하고...
태그: 반도체공정, Rs, 면저항, 면저항측정, 반도체공학, 박막증착, 박막증착공정, CMP공정, ITO, 솔라셀
Wafer 에칭(박막재료?)/박막두께 측정
... 면저항 측정기가 박막 두께를 측정 할 수 있는 건가요? 듣기로는 박막이 무슨 메탈재질이면 저항측정으로... ㅜㅜ 6) 면저항 측정기라는게 Wafer 공정상에 어느 공정...