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웨이퍼 계면 결함

웨이퍼 표면에 계면 결함이 생기는 이유가 무엇인가요? 그라고 어느 공정에서 생기는 것이고, 무조건 생기는 건가요?

태그: 웨이퍼, 반도체, 계면결함