노광에서 파장이 짧을수록 좋다고 하는데 왜 x-ray가 아니라 euv를 사용하는건가요?? X-ray가 파장이 더 짧아 더 미세공정으로 갈 수 있지만 멤브레인 마스크개발을 아직...
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... 그러나 나노팹의 경우 현재의 포토리소그래피 기술로는 구현하기 어려우므로 E-Beam Lithography, EUV Lithography, X-Ray Lithography 등의 새로운 개념의 리소그래피가...
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... 그중에 두가지가 현재 가장 각광받고 있는데 EUV Lithography와 E-Beam Lithography가... 참고로 더 작은 파장을 이용하는 X-Ray Lithography가 있지만 마스크를 만들때 1:1로 만들수...
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... 전리층은 태양으로부터 복사되는 극자외선(EUV : Extreme Ultra-Violet)과 X-선과 같은 전자기 방사(빛의 일종)와 먼 은하로부터 오는 우주선(cosmic ray)이 지구의 상층 대기의...
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... euu euv euw eux euy euz eva evb evc evd eve evf evg evh evi evj evk evl evm evn evo evp evq evr evs evt evu evv evw evx evy evz ewa ewb ewc ewd ewe ewf...
... EUU EUV EUW EUX EUY EUZ EVA EVB EVC EVD EVE EVF EVG EVH EVI EVJ EVK EVL EVM EVN EVO EVP EVQ EVR EVS EVT EVU EVV EVW EVX EVY EVZ EWA EWB EWC EWD EWE EWF...
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... 홈페이지에서 발췌) * Soft X Ray, XUV 1 to 30nm - - Extreme Ultraviolet, EUV 1 to 100nm 1.2keV to 12.4eV 1*108 to 1*105 cm-1 Vacuum Ultraviolet (UV-C), VUV 100 to 200nm 12.4 to 6.2eV 1*105 to 5*104 cm-1 Far...
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... 적어도 극자외선 EUV나 엑스레이 x-ray 를 써야하는데... 둘다 엄청 위험합니다. 하지마십쇼. 참고로 둘다 구하려 해도 못구하고 만드려해도 못만들 겁니다 낄낄.
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... EUU EUV EUW EUX EUY EUZ EVA EVB EVC EVD EVE EVF EVG EVH EVI EVJ EVK EVL EVM EVN EVO EVP EVQ EVR EVS EVT EVU EVV EVW EVX EVY EVZ EWA EWB EWC EWD EWE EWF...
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